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HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器基于多年來(lái)引領(lǐng)尖端技術(shù)產(chǎn)品的市場(chǎng)發(fā)展經(jīng)驗(yàn)，提供的一系列滿足客戶需求的質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品。
HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器被廣泛地運(yùn)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，從太陽(yáng)能電池、燃料電池的研究和制造，到半導(dǎo)體、液晶面板和電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管（LED）的研究和制造。在這些制造工藝中，對(duì)各種氣體的流量進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量和控制，顯著地提高了工作效率，進(jìn)而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展，為制造工藝，包括半導(dǎo)體、光電和LED的制造提供服務(wù)，并將繼續(xù)開(kāi)發(fā)新的產(chǎn)品來(lái)滿足客戶的需求。
HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
工業(yè)爐、熱處理爐用可燃燒氣體控制
針焊用可燃燒氣體控制
氫氣 、氧氣、丙烷、氬氣等為首的各種可燃燒氣體的流量控制
清洗氣體的流量控制
實(shí)驗(yàn)裝置上的氣體流量控制
要求需要自動(dòng)化的流量控制設(shè)備
希望把握所消耗流量總量的設(shè)備等
| 適用氣體種類*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 | |||
| 閥門(mén)型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
| 流量控制范圍 (適于SEC系列) | 5?100% F.S. | |||
| 流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列) | 0?100% F.S. | |||
| 響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 反復(fù)性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 工作差壓值值(適于SEC系列) | 100?300kPa(d) | 200?350kPa(d) | ||
| 使用壓力 (適于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
| 耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |||
| 外部泄漏率 | 1×10-7Pa?m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi) | ||
| 使用環(huán)境溫度 | 5?45℃(精度的確保：15?35℃) | |||
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. | |||
| 流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) | |||
| 驅(qū)動(dòng)電源 | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 3/8SWL 類型 | 1/2SWL 類型 | ||
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。
HORIBA STEC SEC-Z500X質(zhì)量流量控制器
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SFC-480模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEF-11模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質(zhì)量流量計(jì)
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STEC SEC-4500模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
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STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)
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STEC SEC-E40MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質(zhì)量流量控制器
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STEC SEC-400MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
HORIBA 公司成立于1945年，總部設(shè)于日本京都，最初產(chǎn)品為pH計(jì)。HORIBA于1950年開(kāi)發(fā)成功了日本第一臺(tái)玻璃電極pH計(jì)， 1971年3月公司成為上市公司，1982年進(jìn)入東京和大阪股票交易所一版，至2000年底，公司資產(chǎn)總值已達(dá)910億日?qǐng)A，年銷售額710億日?qǐng)A，員工總數(shù)達(dá)3000多人。現(xiàn)已與全國(guó)多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)建立了良好的合作關(guān)系。HORIBA的年對(duì)華貿(mào)易額已達(dá)4億5千萬(wàn)日?qǐng)A。
現(xiàn)在HORIBA已經(jīng)發(fā)展成為擁有37個(gè)成員公司的企業(yè)集團(tuán)-HORIBA GROUP，并在工業(yè)化國(guó)家均設(shè)有常駐機(jī)構(gòu)。作為世界上分析與檢測(cè)設(shè)備制造商，HORIBA在半導(dǎo)體、醫(yī)療、汽車行業(yè)、自然科學(xué)及環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域?yàn)槭澜绺鞯氐目蛻籼峁└咂焚|(zhì)的產(chǎn)品。 HORIBA公司分別于1993年和1996年獲得了ISO9001和ISO14001的認(rèn)證。
HORIBA STEC SEC-Z500X質(zhì)量流量控制器
HORIBA SEC-N100氣體流量控制器：http://www.serinet.com.cn/news/show-279.html 型號(hào)SEC- (質(zhì)量流量控制器)E60E70E80SEF- (質(zhì)量流量計(jì))E60E70E80
班奈自動(dòng)化儀表（上海）有限公司
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