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FS-3000熱式氣體分流器

FS-3000熱式氣體分流器

所屬分類：HORIBA堀場流量計
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控制算法通過控制流量比實現穩定的分流控制，同時利用 HORIBA STEC 控制優化技術控制 FS-3000 上流壓力。此外，即使分流比改變，控制算法也能實現對分流的高速響應。

  • 提高可擴展性、維護性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達 15 個通道。若 MFC 出現故障，僅需更換故障從機即可。
  • 靈活響應所需規格 FS-3000 支持混合氣體在內的多種氣體。此外，FS-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。
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