MS/MCS 系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的核心部件是 Alicat 的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動(dòng)，從而 補(bǔ)償了工藝溫度和壓力變化對(duì)質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。

所有 Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準(zhǔn) 證書。Alicat 提供全方位的用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備 校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。 MS/MCS 系列質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置 130/128 種標(biāo)準(zhǔn)氣體供 選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過(guò)顯示屏按鈕操作便可進(jìn)行氣體切換、設(shè)定值輸入及 PID 閥門 調(diào)節(jié)。MS/MCS 系列設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)的模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式，

另有各類定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目 需求，如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國(guó))1 類 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS 系 列)質(zhì)量流量計(jì)可選。 產(chǎn)品應(yīng)用 Alicat 的 MS/MCS 系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器為腐蝕性過(guò)程氣體應(yīng)用的首選，如：半導(dǎo)體行業(yè) 等。多變量測(cè)量與控制、多種氣體標(biāo)定以及 100:1 量程可調(diào)比使得僅用單臺(tái) MS/MCS 系列質(zhì)量流量控制器 便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效。最高可達(dá) 0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到 100 毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間最大程度優(yōu) 化了氣體控制過(guò)程。 MS/MCS 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測(cè)量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量

MCS & MCRS 系列質(zhì)量流量控制器參數(shù) 0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程 艾里卡特®MCS & MCRS 系列專用于某些腐蝕性氣體

滿量程質(zhì)量流量控制器 滿量程壓損 (psid) 排氣到大氣中 機(jī)械尺寸 管道連接接口 1 MCS 0.5 sccm 至 50 sccm 1.0 4.4”H x 3.4”W x 1.1”D M-5 (10-32) 母(內(nèi)螺紋) 2 MCS 100 sccm 至 500 sccm 1.0 4.6”H x 3.6”W x 1.1”D 1/8” NPT 母 MCS 1 slpm 1.5 MCS 2 slpm 3.0 MCS 5 slpm 2.0 MCS 10 slpm 5.5 MCS 20 slpm 20.0 MCRS 50 slpm 2.0 5.7”H x 7.7”W x 2.3”D 1/4” NPT 母 MCRS 100 slpm 3.2 MCRS 250 slpm 2.4 6.0”H x 7.7”W x 2.3”D 1/2” NPT 母 MCRS 500 slpm 6.5 6.0”H x 7.3”W x 2.3”D 3/4” NPT 母 (2000SLPM 可選配 1-1/4” NPT 母) MCRS 1000 slpm 14.0 MCRS 1500 slpm 17.0 MCRS 2000 slpm 28.6 6.0”H x 8.1”W x 2.9”D MCRS 3000 slpm 16.8 6.0”H x 8.9”W x 2.9”D 1-1/4” NPT 母